应用案例丨德克威尔远程IO模块如同现场总线技术中的指挥官在半导体行业晶圆搬运设备中发挥着关键作用
应用案例丨德克威尔远程IO模块：现场总线技术的指挥官在半导体行业晶圆搬运设备
01、行业解析
在半导体制造中，晶圆是精密且昂贵的材料，其传输过程要求高精度、高速度和无污染。现代科技已经能够生产出纳米级厚度的晶圆，这些晶圆在传送过程中如果依赖人工操作，将面临损坏和污染风险。因此，自动化的晶圆搬运设备成为了关键，它直接影响了整个加工系统的自动化程度和可靠性。
02、工艺说明
晶圆搬运设备通过机器自动搬运将晶圆从一个工作站移动到另一个工作站。在这个过程中，机器人辅助实现上料、加工和下料至片盒的一系列动作，以防止污染。此外，由于硅晶圆易碎，因此必须确保搬运容器内环境清洁，并且高速稳定地完成任务。
03、德克威尔方案
项目中，德克威尔IO模块配合光刻机进行板级或晶圆级产品移载。它们以单机分布式安装在移载机各个工作位上，用来传输到位信号并驱动对应工位电磁阀。主站采用西门子1200系列，而项目I/O配置使用德克威尔FS系列数字量模块共计200点。
04、FS系列一体式I/O
产品特点包括丰富的总线协议支持，如EtherCAT、PROFINET等，以及快速安装设计，使得通信稳定且数据不丢包。这类产品广泛应用于物流行业、半导体行业以及自动化单机设备与机器人工作站等领域。
通过 德克威尔远程IO模块 的优异性能，在半导体行业中的应用为现场总线技术提供了强大的支持，使得全方位、高效率地实现了精密运动控制，为提高整体生产效率与质量做出了贡献。