欧姆龙高级温控方案通过多点化温控技术和先进的数据采集手段反复提升微细加工产品的质量同时保持设备结构紧

  • 科研动态
  • 2025年01月25日
  • 随着半导体的不断微细化和积层化,生产过程中的温度控制问题日益突出。微小的温度偏差和波动都可能对产品质量造成影响,因此在精密控制方面,我们必须追求极致。此外,由于技术进步,设备内部需要更高效地配置更多的温度控制区域,以确保既能保持产品质量,又能在有限的空间内实现有效管理。 为了稳定地自动控制温度波动并保障产品质量,我们采用了具有10倍以上分辨率、高性能外部干扰抑制功能的NX-HTC温度控制单元

欧姆龙高级温控方案通过多点化温控技术和先进的数据采集手段反复提升微细加工产品的质量同时保持设备结构紧

随着半导体的不断微细化和积层化,生产过程中的温度控制问题日益突出。微小的温度偏差和波动都可能对产品质量造成影响,因此在精密控制方面,我们必须追求极致。此外,由于技术进步,设备内部需要更高效地配置更多的温度控制区域,以确保既能保持产品质量,又能在有限的空间内实现有效管理。

为了稳定地自动控制温度波动并保障产品质量,我们采用了具有10倍以上分辨率、高性能外部干扰抑制功能的NX-HTC温度控制单元。这有助于最大限度降低温度波动幅度,从而提供更加精细和稳定的操作。

通过巧妙整合这些功能,我们成功创造出了一个紧凑型设备,同时能够实现高级温控与多点设备集成。这种创新设计不仅提高了工作效率,还使得整个系统更加灵活。

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