三大现场总线技术助力德克威尔远程IO模块革新半导体行业晶圆搬运设备应用案例
在晶圆制造领域，自动化的应用已经达到了前所未有的高度。其中，晶圆搬运这一关键过程不仅要求高精度和高速度，还需要极端的清洁环境，以防止对这些昂贵、精密且易碎的半导体材料造成任何损害。
为了确保晶圆在搬运过程中的安全性和质量，专门设计了晶圆搬运设备。这类设备能够快速准确地将晶圆从一个工序移动到另一个工序，无需人为介入，从而极大地提高了生产效率并降低了出错风险。
德克威尔远程IO模块是这项技术中不可或缺的一部分。通过与光刻机紧密结合，它能够实现板级或晶圆级产品的精确移载。在项目中，德克威尔FS系列数字量模块被广泛部署于移载机各个工作站上，这些模块负责传输信号并控制电磁阀以完成输送线任务。
FS系列一体式I/O模块因其卓越性能而受到青睐。它们支持多种工业总线协议，如EtherCAT、PROFINET等，并提供直插端子和快速安装功能，使得系统集成变得更加便捷。此外，其小巧紧凑的设计以及通信稳定性也使得它成为行业内广泛认可的一种解决方案，不仅适用于半导体行业，也被应用于物流、自动化单机设备及机器人工作站等领域。